被誉为“纳米神笔”的国产电子束光刻机在杭州余杭正式亮相。这台设备由浙大余杭量子研究院自主研发，型号为“羲之”，已完成研发并进入应用测试阶段，标志着我国在高端芯片研发核心装备领域取得重大突破，目前已与国内企业及多家科研机构展开接洽。

“羲之”是一款新一代100kV电子束光刻机，模样酷似大型钢柜，电子显示屏上不断闪烁着实时参数，专注于量子芯片和新型半导体器件的前沿工艺开发。它无需掩模版，通过高能电子束直接在硅片表面“手写”电路，精度可达0.6nm、线宽仅8nm，可多次修改设计，大幅提高研发效率。该光刻机可灵活修改设计无需掩膜版，如同用纳米级毛笔在芯片上精准作画，特别适合芯片研发初期的反复调试。