编译时间:2025-12-11
资源来源:SEMI大半导体产业网
据韩媒报道,SK海力士正与东进世美肯(Dongjin Semichem)合作,着手开发高性能EUV光刻胶,旨在实现这一半导体核心材料的国产化供应并降低对日本的依赖。
SK海力士曾在2023年通过子公司SK Materials Performance实现了部分EUV光刻胶国产化,但仅限于低规格产品。SK海力士需要性能优于日本产品的材料,并特别要求改善光刻胶的光敏性(Sensitivity),以提高生产效率。
原文链接: https://www.semi.org.cn/site/semi/article/41cdb6674762464095bc4df4e6fcb8c8.html
参考链接: https://www.semi.org.cn/site/semi/article/41cdb6674762464095bc4df4e6fcb8c8.html
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