SK海力士与东进半导体合作开发高性能EUV光刻胶
2026-01-13 浏览量:

据韩媒报道,SK海力士正与东进世美肯(Dongjin Semichem)合作,着手开发高性能EUV光刻胶,旨在实现这一半导体核心材料的国产化供应并降低对日本的依赖。

SK海力士曾在2023年通过子公司SK Materials Performance实现了部分EUV光刻胶国产化,但仅限于低规格产品。SK海力士需要性能优于日本产品的材料,并特别要求改善光刻胶的光敏性(Sensitivity),以提高生产效率。